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Low Ultimate
Pressure
단단이며, 저속운전(3600RPM
at 60Hz)으로 1 X 10-2Torrs의
도달압력을 얻을 수 있고
대기압으로부터 모든압력 영역에서 연속운전이 가능하다.
Unique
Screw Rotor Design
냉각수가 스크류 로터의 내부로 순환하여 스크류 로터를 직접 냉각시킨다.
Low
Temperature of screw rotor
낮은 온도의 스크류 로터는 부식방지를 위한 코팅 수명을 길게하여 화학적 가스 공정에 적합니다.
Oil
& Water free operation
진공펌프의 내부에 물이나 유막 형성용 oil을 필요로 하지 않는다.
오폐유의 처리비용이 없으며, 재사용이 용이하고, 환경친화적인 진공펌프다.
Clean
operation
축의 메카니칼 씰 설계는 물 또는 oil의 오염을 막아주며 펌프의 운전에서 깨끗한 oil과 물의 사용을
보장한다.
Corrosion
resistant design
Gas와 접하는 모든 부품에는 내식성이 우수한 특별한 코팅으로 처리된다.
Durable
mechanical design
스크류 로터간이나, 케이싱과 스크류 로터간에는 일정한 틈새가 유지되어 금속과 금속간 접촉이 없어
저속회전에서도 긴 펌프의 수명과 저 진동, 저 소음수준 그리고 로터의 마모가 생기지
않는다.
Severe duty operation
진공 펌프 내부로 냉각된 공정가스, 질소 또는 대기 공기를 Purging하여 폭발성가스, 부식성가스,
응축성가스로 부터 진공펌프를 보호할 수 있으며 purging량도 조절할 수 있다.
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